二、主要技術指標

1.  可檢漏率：5×10-13Pa·m3/s

2.  漏率顯示范圍：1×10-2—1×10-13Pa·m3/s

3.  啟動時間：≤3min

4.  響應時間：≤0.5s

5.  檢漏口的可承受壓力：1500Pa

6.  可承受壓強：5×10-4Pa

7.  機械泵抽速：3L/s

8.  電源要求：220V，50Hz，單相，10A

9.  工作環境：5-45℃

10. 相對濕度：≤80%

11. 外形尺寸：550（W）×420（D）×700（H）

12. 重量：60kg

1.  進口檢漏儀分子泵

2.  優成機械泵

3.  滲氦型校準漏孔

4.  美國AD放大器

5.  質譜模塊

6.  液晶觸摸彩屏

7， 高性能寬電壓主控板

氣路圖：